02
核心敞口、弹性与产业链位置
当前敞口
温控 + 废气合计贡献 92.7% 营收与 95.3% 毛利，直接受益于国内前道晶圆厂扩产；静电吸盘、腔体清洗为新品期权，2026 年起进入放量窗口。
产业链卡位
半导体前道设备的关键辅助模组，配套刻蚀/沉积/清洗等主设备。温控国内份额领先、废气 Local Scrubber 国产替代率快速抬升，主要客户为国内头部晶圆厂与设备厂。
技术 & 盈利力
温控毛利率 35.9%（同比 +3.1pct）已达海外龙头水平；静电吸盘属核心陶瓷件、进口依赖 90%+，一旦量产毛利率对标海外可达 45-55%（测算）。
远期结构变化
2026-2027 静电吸盘 + 腔体清洗合计营收占比有望从当前 <3% 升至 20%+（测算），驱动整体毛利率上台阶。
涨价与量增口径利润
以 2024 温控 + 废气 28.8 亿为基数，均价 + 结构升级带动 ASP 涨 10% 按 60% 落净利，增厚核心 segment 利润约 1.7 亿元归母（测算：9.5 × 10% × 60%）。
市场在交易什么
（26 年 7 月）主线是"晶圆厂大规模扩产 + 静电吸盘国产替代 0-1 突破"，PE-TTM 高位反映远期期权定价。
03
涨价逻辑与价格弹性
涨价逻辑：国内前道晶圆厂 2026 年扩产提速，温控/废气配套需求集中释放；静电吸盘/腔体清洗为国产 0-1 品类，公司作为国产供应商稀缺，ASP 与议价能力有向上空间。
弹性假设：以中性 2028E 核心温控/废气/新品营收合计 15 亿为基准，均价上行增量按 60% 落到净利（新品供给紧、议价强，测算）。
| 产品涨价 | 弹性段净利 | 公司总净利 | 对应市值 |
|---|
| 基准价（不涨价） | 7.8 亿 | 14.2 亿 | 361 亿 |
| +10% | 9.6 亿 | 16.0 亿 | 413 亿 |
| +20% | 11.3 亿 | 17.7 亿 | 465 亿 |
| +30% | 13.0 亿 | 19.4 亿 | 517 亿 |
纯价格敏感性（中性量不变）；增量净利按核心零部件段 30x 计入市值。基准行对应 §04 中性情景。
▪ 环节扩产 · 供需反转研判
扩产节奏半导体零部件扩产周期慢（新洁净车间 + 客户认证需 2 年以上），公司北京新厂/苏州基地在建；行业整体在建产能 CAGR ~30%。
扩产时点2026 年国内晶圆厂大规模投产带动订单加速，2027 年公司新产能与新品同步爬坡，静电吸盘/腔体清洗有望进入客户小批量导入。
供需反转2028 年前后新增供给集中投放，若晶圆厂 Capex 增速回落，配套零部件供需可能由紧转松；关键盯变量为国内 12 寸产线年新增数与温控/废气招标价格。